OLED (Diod pemancar cahaya organik) adalah teknologi paparan panel rata generasi baru yang mengikuti TFT-LCD (paparan kristal cecair transistor filem nipis). Ia mempunyai kelebihan struktur sederhana, tidak perlu lampu latar untuk pencahayaan diri, kontras tinggi, ketebalan tipis, sudut pandangan lebar, kelajuan tindak balas pantas, dapat digunakan untuk panel fleksibel, dan julat suhu operasi yang luas. Pada tahun 1987, Dr. CW Tang dan yang lain dari Kodak Corporation Amerika Syarikat menubuhkan komponen dan bahan asas OLED [1]. Pada tahun 1996, Pioneer dari Jepun menjadi syarikat pertama yang menghasilkan teknologi ini secara besar-besaran, dan memadankan panel OLED dengan paparan audio kereta yang dihasilkannya. Dalam beberapa tahun terakhir, karena prospeknya yang menjanjikan, pasukan R&D di Jepang, Amerika Serikat, Eropah, Taiwan dan Korea Selatan telah berkembang, yang menyebabkan kematangan bahan pemancar cahaya organik, pengembangan pengeluar peralatan yang kuat, dan berterusan evolusi teknologi proses.
Walau bagaimanapun, teknologi OLED berkaitan dengan industri semikonduktor dewasa, LCD, CD-R atau bahkan LED dari segi prinsip dan proses, tetapi mempunyai pengetahuan yang unik; oleh itu, masih terdapat banyak halangan dalam pengeluaran besar-besaran OLED. . Taiwan Rebao Technology Co., Ltd. mula mengembangkan teknologi yang berkaitan dengan OLED pada tahun 1997 dan berjaya menghasilkan panel OLED secara besar-besaran pada tahun 2000. Ia menjadi syarikat panel OLED yang dihasilkan secara besar-besaran di dunia setelah Tohoku Pioneer di Jepun; dan pada tahun 2002, ia terus menghasilkan panel OLED. Panel mono-warna dan area-warna untuk penghantaran eksport ditunjukkan pada Gambar 1, dan hasil dan output telah meningkat, menjadikannya pembekal panel OLED terbesar di dunia dari segi output.
Dalam proses OLED, ketebalan lapisan filem organik akan sangat mempengaruhi ciri-ciri peranti. Secara amnya, kesalahan ketebalan filem mestilah kurang dari 5 nanometer, yang merupakan nanoteknologi yang benar. Contohnya, saiz substrat generasi ketiga paparan panel rata TFT-LCD umumnya ditakrifkan sebagai 550mm x 650mm. Pada substrat ukuran ini, sukar untuk mengawal ketebalan filem yang tepat. Proses substrat kawasan dan penerapan panel kawasan besar. Pada masa ini, aplikasi OLED terutamanya panel paparan warna mono dan warna kawasan kecil, seperti skrin utama telefon bimbit, skrin sekunder telefon bimbit, paparan konsol permainan, skrin audio kereta, dan paparan Pembantu Digital peribadi (PDA). Oleh kerana proses pengeluaran besar-besaran OLED warna penuh belum matang, produk OLED warna penuh bersaiz kecil dijangka akan dilancarkan berturut-turut setelah separuh kedua tahun 2002. Oleh kerana OLED adalah paparan bercahaya sendiri, prestasi visualnya adalah sangat baik berbanding paparan LCD warna penuh dengan tahap yang sama. Ia memiliki kesempatan untuk langsung memotong produk mewah berukuran kecil berwarna penuh, seperti kamera digital dan pemain VCD (atau DVD) bersaiz sawit. Untuk panel besar (13 inci atau lebih), walaupun ada pasukan penyelidikan dan pengembangan yang menunjukkan sampel, teknologi pengeluaran besar-besaran masih perlu dikembangkan.
OLED umumnya dibahagikan kepada molekul kecil (biasanya dipanggil OLED) dan makromolekul (biasanya dipanggil PLED) kerana bahan pemancar cahaya yang berbeza. Lesen teknologi tersebut adalah Eastman Kodak (Kodak) di Amerika Syarikat dan CDT (Cambridge Display Technology) di United Kingdom. Taiwan Rebao Technology Co., Ltd. adalah salah satu daripada beberapa syarikat yang secara serentak mengembangkan OLED dan PLED. Dalam artikel ini, kami terutamanya akan memperkenalkan OLED molekul kecil. Pertama, kami akan memperkenalkan prinsip OLED, kemudian kami akan memperkenalkan proses utama yang berkaitan, dan akhirnya kami akan memperkenalkan arah pengembangan teknologi OLED semasa.
1. Prinsip OLED
Komponen OLED terdiri daripada bahan organik jenis n, bahan organik jenis p, logam katod dan logam anod. Elektron (lubang) disuntik dari katod (anod), dibawa ke lapisan pemancar cahaya (umumnya bahan jenis-n) melalui bahan organik jenis-n (jenis-p), dan memancarkan cahaya melalui pengumpulan semula. Secara amnya, ITO disalurkan pada substrat kaca yang terbuat dari peranti OLED sebagai anod, dan kemudian bahan organik jenis-p dan jenis-n dan katod logam dengan fungsi kerja rendah disimpan secara berurutan oleh penyejatan termal vakum. Kerana bahan organik mudah berinteraksi dengan wap air atau oksigen, bintik-bintik gelap dihasilkan dan komponennya tidak bersinar. Oleh itu, setelah lapisan vakum peranti ini selesai, proses pembungkusan mesti dilakukan di persekitaran tanpa kelembapan dan oksigen.
Di antara logam katod dan anod ITO, struktur peranti yang banyak digunakan secara amnya boleh dibahagikan kepada 5 lapisan. Seperti yang ditunjukkan dalam Gambar 2, dari sisi dekat dengan ITO, mereka adalah: lapisan suntikan lubang, lapisan pengangkutan lubang, lapisan pemancar cahaya, lapisan pengangkutan elektron, dan lapisan suntikan elektron. Mengenai sejarah evolusi peranti OLED, peranti OLED yang pertama kali diterbitkan oleh Kodak pada tahun 1987 terdiri dari dua lapisan bahan organik, lapisan pengangkutan lubang dan lapisan pengangkutan elektron. Lapisan pengangkutan lubang adalah bahan organik jenis p, yang dicirikan oleh pergerakan lubang yang lebih tinggi, dan orbital molekulnya yang paling tinggi didekati (HOMO) lebih dekat dengan ITO, yang membolehkan lubang dipindahkan dari Penghalang tenaga ITO yang disuntik ke dalam lapisan organik dikurangkan.
Bagi lapisan pengangkutan elektron, ia adalah bahan organik jenis-n, yang dicirikan oleh mobiliti elektron yang tinggi. Apabila elektron bergerak dari lapisan pengangkutan elektron ke antara muka lubang dan lapisan pengangkutan elektron, orbital molekul yang tidak diduduki paling rendah dari lapisan pengangkutan elektron . Sukar bagi elektron untuk melintasi penghalang tenaga ini untuk memasuki lapisan pengangkutan lubang dan disekat oleh antara muka ini. Pada masa ini, lubang dipindahkan dari lapisan pengangkutan lubang ke sekitar antara muka dan bergabung semula dengan elektron untuk menghasilkan exciton (Exciton), dan Exciton melepaskan tenaga dalam bentuk pancaran cahaya dan bukan cahaya. Dari segi sistem bahan pendarfluor umum, hanya 25% pasangan lubang elektron dikumpulkan semula dalam bentuk pelepasan cahaya berdasarkan perhitungan selektivitas (peraturan SelecTIon), dan baki 75% tenaga adalah hasil dari pembebasan haba. Bentuk yang dibuang. Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, bahan fosforensi (Fosforensi) dikembangkan secara aktif untuk menjadi generasi baru bahan OLED [2], bahan-bahan tersebut dapat memecahkan had selektivitas untuk meningkatkan kecekapan kuantum dalaman hingga hampir 100%.
Dalam peranti dua lapisan, bahan organik jenis-n-lapisan pengangkutan elektron-juga digunakan sebagai lapisan pemancar cahaya, dan panjang gelombang pemancar cahaya ditentukan oleh perbezaan tenaga antara HOMO dan LUMO. Walau bagaimanapun, lapisan pengangkutan elektron yang baik - iaitu bahan dengan mobiliti elektron tinggi - tidak semestinya bahan dengan kecekapan pelepasan cahaya yang baik. Oleh itu, amalan umum semasa adalah dengan menggunakan (doped) pigmen organik dengan pendarfluor tinggi untuk pengangkutan elektron. Bahagian lapisan yang dekat dengan lapisan pengangkutan lubang, juga dikenal sebagai lapisan pemancar cahaya [3], mempunyai nisbah isipadu sekitar 1% hingga 3%. Perkembangan teknologi doping adalah teknologi utama yang digunakan untuk meningkatkan kadar penyerapan kuantum pendarfluor bahan mentah. Secara amnya, bahan yang dipilih adalah pewarna dengan kadar penyerapan kuantum pendarfluor (Dye) yang tinggi. Sejak pengembangan pewarna organik berasal dari laser pewarna pada tahun 1970-an hingga 1980-an, sistem bahannya lengkap, dan panjang gelombang pelepasan dapat meliputi seluruh wilayah cahaya yang dapat dilihat. Jalur tenaga pewarna organik yang didop pada alat OLED adalah lemah, umumnya lebih kecil daripada jalur tenaga host (Host), untuk memudahkan pemindahan tenaga exciton dari host ke dopan (Dopant). Namun, kerana dopan mempunyai jalur tenaga yang kecil dan bertindak sebagai perangkap dari segi elektrik, jika lapisan dopan terlalu tebal, voltan penggerak akan meningkat; tetapi jika terlalu kurus, tenaga akan dipindahkan dari inang ke dopan. Nisbahnya akan bertambah buruk, jadi ketebalan lapisan ini mesti dioptimumkan.
Bahan logam katod secara tradisional menggunakan bahan logam (atau aloi) dengan fungsi kerja rendah, seperti aloi magnesium, untuk memudahkan penyuntikan elektron dari katod ke lapisan pengangkutan elektron. Selain itu, praktik yang biasa dilakukan adalah memperkenalkan lapisan suntikan elektron. Ia terdiri daripada halida atau oksida logam fungsi kerja yang sangat nipis, seperti LiF atau Li2O, yang dapat mengurangkan penghalang tenaga antara katod dan lapisan pengangkutan elektron [4] dan mengurangkan voltan penggerak.
Oleh kerana nilai HOMO dari bahan lapisan pengangkutan lubang masih berbeza dengan ITO, di samping itu, setelah lama beroperasi, anod ITO dapat melepaskan oksigen dan merosakkan lapisan organik untuk menghasilkan bintik-bintik gelap. Oleh itu, lapisan suntikan lubang dimasukkan antara ITO dan lapisan pengangkutan lubang, dan nilai HOMO-nya hanya antara ITO dan lapisan pengangkutan lubang, yang kondusif untuk suntikan lubang ke dalam peranti OLED, dan ciri-ciri filem dapat menyekat ITO. Oksigen memasuki elemen OLED untuk memanjangkan jangka hayat elemen tersebut.
2. Kaedah pemacu OLED
Kaedah memandu OLED dibahagikan kepada pemanduan aktif (pemanduan aktif) dan pemanduan pasif (pemanduan pasif).
1) Pemacu pasif (PM OLED)
Ia dibahagikan kepada litar pemacu statik dan litar pemacu dinamik.
Driving Kaedah pemanduan statik: Pada peranti paparan pemancar cahaya organik yang digerakkan secara statik, umumnya katod setiap piksel elektroluminesen organik dihubungkan bersama dan dilukis bersama, dan anod setiap piksel dilukis secara berasingan. Ini adalah kaedah sambungan katod biasa. Sekiranya anda mahu piksel memancarkan cahaya, selagi perbezaan antara voltan sumber arus tetap dan voltan katod lebih besar daripada nilai bercahaya piksel, piksel akan memancarkan cahaya di bawah pemacu sumber arus tetap. Sekiranya piksel tidak memancarkan cahaya, sambungkan anodnya ke voltan negatif, ia dapat disekat secara terbalik. Walau bagaimanapun, kesan silang mungkin berlaku apabila gambar banyak berubah. Untuk mengelakkan ini, kita mesti menggunakan bentuk komunikasi. Litar pemanduan statik umumnya digunakan untuk menggerakkan paparan segmen.
Drive Mod pemacu dinamik: Pada peranti paparan pemancar cahaya organik yang digerakkan secara dinamik, orang menjadikan dua elektrod piksel menjadi struktur matriks, iaitu, elektrod dengan sifat yang sama dari kumpulan mendatar piksel paparan dikongsi, dan menegak kumpulan piksel paparan adalah sama. Elektrod sifat lain dikongsi. Sekiranya piksel dapat dibahagikan kepada baris N dan lajur M, terdapat elektrod baris N dan elektrod lajur M. Baris dan lajur masing-masing sesuai dengan dua elektrod piksel pemancar cahaya. Yaitu katod dan anod. Dalam proses penggerak litar sebenarnya, untuk menerangi piksel baris demi baris atau untuk menyalakan lajur piksel demi lajur, kaedah pemindaian baris demi baris biasanya digunakan, dan elektrod lajur adalah elektrod data dalam pemindaian baris. Kaedah pelaksanaannya adalah: menerapkan pulsa secara siklik pada setiap baris elektrod, dan pada masa yang sama semua elektrod lajur memberikan denyut arus penggerak piksel baris, untuk mewujudkan paparan semua piksel satu baris. Sekiranya baris tidak lagi berada di baris yang sama atau di lajur yang sama, voltan terbalik digunakan pada piksel untuk mengelakkan "kesan silang". Pengimbasan ini dilakukan secara berturut-turut, dan masa yang diperlukan untuk mengimbas semua baris disebut tempoh bingkai.
Waktu pemilihan setiap baris dalam bingkai adalah sama. Dengan mengandaikan bahawa jumlah garis pemindaian dalam bingkai adalah N dan waktu untuk mengimbas bingkai adalah 1, maka waktu pemilihan yang ditempati oleh satu baris adalah 1 / N dari waktu bingkai. Nilai ini dipanggil pekali kitar tugas. Dengan arus yang sama, peningkatan jumlah garis pemindaian akan mengurangkan siklus tugas, yang akan menyebabkan penurunan suntikan yang efektif pada piksel elektroluminesen organik dalam satu bingkai, yang akan menurunkan kualitas paparan. Oleh itu, dengan peningkatan piksel paparan, untuk memastikan kualiti paparan, perlu meningkatkan arus pemacu dengan tepat atau mengadopsi mekanisme elektroda dua skrin untuk meningkatkan pekali kitar tugas.
Sebagai tambahan kepada kesan silang kerana pembentukan elektrod yang sama, mekanisme pembawa muatan positif dan negatif yang digabungkan untuk membentuk pelepasan cahaya pada skrin paparan elektroluminesen organik menjadikan dua piksel pemancar cahaya, selagi apa-apa jenis filem berfungsi yang menyusunnya struktur dihubungkan secara langsung bersama Ya, mungkin terdapat silang antara dua piksel pemancar cahaya, iaitu, satu piksel memancarkan cahaya, dan piksel yang lain juga dapat memancarkan cahaya yang lemah. Fenomena ini disebabkan terutamanya oleh keseragaman ketebalan filem berfungsi organik dan penebat lateral filem yang lemah. Dari perspektif pemanduan, untuk mengurangkan jalan tolak yang tidak menguntungkan ini, menggunakan kaedah pemotongan terbalik juga merupakan kaedah yang berkesan dalam satu baris.
Paparan dengan kawalan skala kelabu: Skala kelabu monitor merujuk kepada tahap kecerahan gambar hitam dan putih dari hitam ke putih. Semakin banyak tahap kelabu, semakin kaya gambar dari hitam hingga putih, dan semakin jelas perinciannya. Skala kelabu adalah penunjuk yang sangat penting untuk paparan dan pewarnaan gambar. Secara umumnya, skrin yang digunakan untuk paparan skala kelabu kebanyakannya adalah paparan dot matrix, dan pemanduannya kebanyakannya adalah pemanduan dinamik. Beberapa kaedah untuk mencapai kawalan skala kelabu adalah: kaedah kawalan, modulasi skala kelabu spasial, dan modulasi skala abu-abu waktu.
2) Pemacu aktif (AM OLED)
Setiap piksel pemacu aktif dilengkapi dengan Transistor Filem Tipis Suhu Rendah (LTP-Si TFT) dengan fungsi pensuisan, dan setiap piksel dilengkapi dengan kapasitor penyimpanan cas, dan rangkaian pemanduan periferal dan susunan paparan disatukan dalam keseluruhan sistem Pada substrat kaca yang sama. Struktur TFT sama dengan LCD dan tidak dapat digunakan untuk OLED. Ini kerana LCD menggunakan pemacu voltan, sementara OLED bergantung pada pemacu semasa, dan kecerahannya berkadaran dengan jumlah arus. Oleh itu, selain TFT pemilihan alamat yang melakukan pensuisan ON / OFF, ia juga memerlukan rintangan on yang rendah yang memungkinkan arus yang mencukupi untuk dilalui. TFT memandu rendah dan kecil.
Memandu aktif adalah kaedah pemanduan statik dengan kesan memori dan dapat dipacu pada beban 100%. Pemacu ini tidak dibatasi oleh bilangan elektrod pengimbasan, dan setiap piksel dapat disesuaikan secara selektif secara bebas.
Pemacu aktif tidak mempunyai masalah kitaran tugas, dan pemacu tidak dibatasi oleh bilangan elektrod pengimbasan, dan mudah untuk mencapai kecerahan tinggi dan resolusi tinggi.
Pemanduan aktif secara bebas dapat menyesuaikan dan mendorong kecerahan piksel merah dan biru, yang lebih kondusif untuk mewujudkan pewarnaan OLED.
Litar pemanduan matriks aktif tersembunyi di skrin paparan, yang menjadikannya lebih mudah untuk mencapai integrasi dan miniaturisasi. Selain itu, kerana masalah sambungan antara litar pemacu periferal dan layar diselesaikan, ini meningkatkan hasil dan kebolehpercayaan hingga tahap tertentu.
3) Perbandingan antara aktif dan pasif
aktif pasif
Pelepasan cahaya berketumpatan tinggi segera (pemacu dinamik / selektif) Pelepasan cahaya berterusan (pemacu keadaan mantap)
Cip IC tambahan di luar reka bentuk litar pemacu TFT panel / IC pemacu filem nipis terbina dalam
Pengimbas bertahap baris Garis menghapus data secara bertahap
Kawalan penggredan yang mudah. Piksel gambar EL organik terbentuk pada substrat TFT.
Pemacu kos rendah / voltan tinggi Pemacu voltan rendah / penggunaan kuasa rendah / kos tinggi
Perubahan reka bentuk yang mudah, masa penghantaran yang singkat (pembuatan sederhana), jangka hayat komponen pemancar cahaya (proses pembuatan yang kompleks)
Pemacu matriks sederhana + OLED LTPS TFT + OLED
2. Kelebihan dan kekurangan OLED
1) Kelebihan OLED
(1) Ketebalannya dapat kurang dari 1 mm, yang hanya 1/3 dari layar LCD, dan beratnya lebih ringan;
(2) Tubuh padat tidak memiliki bahan cair, jadi mempunyai ketahanan kejutan yang lebih baik dan tidak takut jatuh;
(3) Hampir tidak ada masalah dengan sudut pandang, bahkan jika dilihat pada sudut pandangan yang besar, gambar masih tidak terdistorsi;
(4) Waktu tindak balas adalah seperseribu dari LCD, dan sama sekali tidak akan ada fenomena smear ketika memaparkan gambar bergerak;
(5) Ciri suhu rendah yang baik, masih dapat dipaparkan secara normal pada minus 40 darjah, tetapi LCD tidak dapat melakukannya;
(6) Proses pembuatannya sederhana dan harganya lebih rendah;
(7) Kecekapan bercahaya lebih tinggi, dan penggunaan tenaga lebih rendah daripada LCD;
(8) Ini dapat dibuat pada substrat dari bahan yang berbeda dan dapat dibuat menjadi paparan fleksibel yang dapat dibengkokkan.
2.) Kekurangan OLED
(1) Jangka hayat biasanya hanya 5000 jam, yang lebih rendah daripada jangka hayat LCD sekurang-kurangnya 10,000 jam;
(2) Pengeluaran besar-besaran layar bersaiz besar tidak dapat dicapai, sehingga saat ini hanya sesuai untuk produk digital mudah alih;
(3) Ada masalah kesucian warna yang tidak mencukupi, dan tidak mudah menampilkan warna yang terang dan kaya.
3. Proses utama berkaitan OLED
Pra-rawatan substrat indium timah oksida (ITO)
(1) Kerataan permukaan ITO
ITO telah digunakan secara meluas dalam pembuatan panel paparan komersial. Ia mempunyai kelebihan transmisi tinggi, daya tahan rendah, dan fungsi kerja tinggi. Secara umum, ITO yang dihasilkan oleh kaedah RF sputtering rentan terhadap faktor kawalan proses yang buruk, mengakibatkan permukaan tidak rata, yang seterusnya menghasilkan bahan tajam atau penonjolan di permukaan. Selain itu, proses pengkalsinasi dan pengkristalan semula suhu tinggi juga akan menghasilkan lapisan yang menonjol dengan permukaan sekitar 10 ~ 30nm. Jalur yang terbentuk di antara zarah-zarah halus lapisan yang tidak rata ini akan memberi peluang kepada lubang untuk menembak terus ke katod, dan jalur yang rumit ini akan meningkatkan arus kebocoran. Secara amnya, terdapat tiga kaedah untuk menyelesaikan kesan lapisan permukaan ini: Salah satunya ialah meningkatkan ketebalan lapisan suntikan lubang dan lapisan pengangkutan lubang untuk mengurangkan arus kebocoran. Kaedah ini kebanyakannya digunakan untuk PLED dan OLED dengan lapisan lubang tebal (~ 200nm). Yang kedua adalah memproses semula kaca ITO agar permukaannya licin. Yang ketiga adalah menggunakan kaedah pelapisan lain untuk menjadikan permukaan lebih halus (seperti yang ditunjukkan dalam Gambar 3).
(2) Peningkatan fungsi kerja ITO
Apabila lubang disuntik ke HIL dari ITO, perbezaan tenaga berpotensi yang terlalu besar akan menghasilkan penghalang Schottky, menyukarkan lubang untuk disuntik. Oleh itu, bagaimana untuk mengurangkan perbezaan tenaga berpotensi antara muka ITO / HIL menjadi tumpuan pretreatment ITO. Secara amnya, kami menggunakan kaedah O2-Plasma untuk meningkatkan ketepuan atom oksigen dalam ITO untuk mencapai tujuan meningkatkan fungsi kerja. Fungsi kerja ITO setelah rawatan O2-Plasma dapat ditingkatkan dari 4.8eV yang asal menjadi 5.2eV, yang sangat dekat dengan fungsi kerja HIL.
① Tambahkan elektrod tambahan
Oleh kerana OLED adalah peranti pemacu semasa, apabila litar luaran terlalu panjang atau terlalu tipis, penurunan voltan yang serius akan berlaku di litar luaran, yang akan menyebabkan penurunan voltan pada peranti OLED turun, mengakibatkan penurunan intensiti bercahaya panel. Kerana rintangan ITO terlalu besar (10 ohm / persegi), mudah menyebabkan penggunaan kuasa luaran yang tidak perlu. Menambah elektrod tambahan untuk mengurangkan kecerunan voltan menjadi cara cepat untuk meningkatkan kecekapan bercahaya dan mengurangkan voltan penggerak. Logam kromium (Cr: Chromium) adalah bahan yang paling biasa digunakan untuk elektrod tambahan. Ia mempunyai kelebihan kestabilan yang baik terhadap faktor persekitaran dan selektiviti yang lebih baik untuk penyelesaian etsa. Walau bagaimanapun, nilai ketahanannya adalah 2 ohm / persegi apabila filemnya 100nm, yang masih terlalu besar dalam beberapa aplikasi. Oleh itu, logam aluminium (Al: Aluminium) (0.2 ohm / persegi) mempunyai nilai rintangan yang lebih rendah pada ketebalan yang sama. Menjadi pilihan lain yang lebih baik untuk elektrod tambahan. Walau bagaimanapun, aktiviti logam aluminium yang tinggi juga menjadikannya masalah kebolehpercayaan; oleh itu, logam tambahan berlapis telah dicadangkan, seperti: Cr / Al / Cr atau Mo / Al / Mo. Walau bagaimanapun, proses sedemikian meningkatkan kerumitan dan kos, jadi pilihan bahan elektrod tambahan telah menjadi salah satu perkara penting dalam proses OLED.
② Proses katod
Dalam panel OLED beresolusi tinggi, katod halus dipisahkan dari katod. Kaedah umum yang digunakan adalah pendekatan struktur jamur, yang serupa dengan teknologi pengembangan fotoresis negatif teknologi percetakan. Dalam proses pengembangan fotoresis negatif, banyak variasi proses akan mempengaruhi kualiti dan hasil katod. Contohnya, rintangan kelantangan, pemalar dielektrik, resolusi tinggi, Tg tinggi, kehilangan dimensi kritikal rendah (CD), dan antara muka lekatan yang betul dengan ITO atau lapisan organik lain.
③ Pakej
(1) Bahan penyerap air
Secara amnya, kitaran hidup OLED mudah terpengaruh oleh wap air dan oksigen di sekitarnya dan berkurang. Terdapat dua sumber kelembapan utama: satu adalah penembusan ke dalam alat melalui persekitaran luaran, dan yang lain adalah kelembapan yang diserap oleh setiap lapisan bahan dalam proses OLED. Untuk mengurangkan kemasukan wap air ke dalam komponen atau menghilangkan wap air yang diserap oleh proses tersebut, bahan yang paling sering digunakan adalah Desiccant. Desiccant dapat menggunakan penjerapan kimia atau penjerapan fizikal untuk menangkap molekul air yang bergerak bebas untuk mencapai tujuan membuang wap air dalam komponen.
(2) Proses dan pengembangan peralatan
Proses pembungkusan ditunjukkan dalam Rajah 4. Untuk meletakkan Desiccant pada plat penutup dan mengikat plat penutup dengan lancar ke substrat, ia perlu dilakukan dalam persekitaran vakum atau rongga diisi dengan gas inert, seperti sebagai nitrogen. Perlu diperhatikan bahawa bagaimana menjadikan proses penyambungan plat penutup dan substrat lebih berkesan, mengurangkan kos proses pembungkusan, dan mengurangkan masa pembungkusan untuk mencapai kadar pengeluaran besar-besaran yang terbaik, telah menjadi tiga tujuan utama pengembangan proses pembungkusan dan teknologi peralatan.
produk kami yang lain:
